第(3/3)页 “而且,”栗亚波补充道,“能在短短几个月内,将全新的设计理念转化为可工程应用的实物系统,这本身就证明了长光集团在光学成像领域的深厚积累和强大实力!国内第一实至名归!” 这番话的分寸拿捏得极好。 既点明了火炬的关键贡献,又不失时机地抬高了长光团队的地位和能力。 原本有些微妙的气氛,顿时缓和了不少。 范洪杰等人脸上的不自在也消减了许多。 这时,另一个声音响起带着强烈的期待: “张组,栗教授!既然菊厂他们敢保证7nm芯片交付,是不是……是不是搞定了euv光源?!” 这个问题如同投入平静湖面的石子,瞬间激起了更大的涟漪! 尤其是刚才栗亚波神神秘秘地提到了“部分核心元器件”的说法,似乎更加印证了此人的猜测。 “对啊!euv!” “euv的物镜确实比duv简单!” “要是euv成了,几个月搞出来倒真有可能!” 众人眼睛都亮了,充满期待地看向张汝宁和栗亚波。 如果真是euv,那简直是惊天动地的突破。 可张汝宁却缓缓摇头,打破了众人的幻想。 “光源,依然是duv,193nm波长。” 眼神中的光芒黯淡下来。 “还是duv?” “那……那怎么做到单次曝光7nm?” “……” 虽然碍于张汝宁的身份和权威,没人直接质疑。 但每个人脸上都写满了“不太相信”四个大字。 他们都是浸淫光学系统设计多年的专家。 duv的物理极限在哪里,他们心里跟明镜似的。 超越这个极限? 闻所未闻! 张汝宁看着众人那副“你在逗我”的表情,心里别提有多舒坦了。 实际按照常浩南的想法,虽然具体细节确实不能在长光集团公布,但大体技术路线却没有这么敏感,可以提前跟这些核心骨干透露一二。 反而是张汝宁自己提出要“严格保密,以身作则”,主动要求等到了上沪微电子之后再统一公布…… (本章完) 第(3/3)页