第(2/3)页 “常院士,打扰了。关于昨天偏振像差模型优化后的第三轮仿真结果,我有些新的想法……” 张汝宁话说到一半,才注意到办公室里有客人,立刻收住了话头。 “张研究员,请进,正好。”常浩南起身招呼,并转向俞丞东介绍道:“俞总,这位是长光集团的张汝宁,我们新型光刻机物镜系统的总设计师。” 又转向张汝宁: “张研究员,这位是菊厂的俞丞东俞总。” 其实这两个人此前大概率见过面。 只是常浩南作为东道主,肯定要主动来这么一套流程。 一番例行的相互吹捧之后,张汝宁带着职业性的探究目光看向俞丞东:“俞总今天是?” 常浩南又将对方的来意,还有关于华芯产能时间表的讨论简单复述了一遍。 并询问对方对此的看法。 毕竟说到底,真正负责物镜系统研发和集成的,还是长光集团的人。 张汝宁听罢,沉吟了十几秒钟。 “我们长光只负责光源和物镜系统的研发和制造,”他谨慎地开口,“整机的集成、调试和最终交付,是由上沪微电子(SMEE)负责,华芯国际则是我们的客户。” 随后,又话锋一转, “不过,从物镜系统这边来看,我们这边的核心模组研发和样件测试进展非常顺利,远超预期……而ArF-1800的其它子系统,比如激光光源、工件台、掩模台、对准系统等,大部分是基于之前ArF-1500的成熟技术……甚至连外形都不用变。” 一般来说,光刻机的物镜系统是朝着越来越复杂发展。 因此越先进的型号,体积往往也越大。 但ArF1800的所有模组都比上一代产品更小,所以省了不少事情。 “只要物镜系统这个最大的瓶颈被突破,整机的技术风险就降低了七成以上。” 他看向常浩南,又看了看俞丞东,给出了一个相对乐观的估计: “我个人判断,只要SMEE那边不出现重大意外,按照目前的进度全力推进,到明年第二季度,也就是四到六月份之间,基本可以把首批设备交付给华芯国际。” 常浩南闻言,微微颔首。 张汝宁的这个判断,与他和SMEE、华芯高层私下沟通的预期差不多吻合。 “张研究员的判断比较中肯。”他看向俞丞东:“这也意味着,华芯在明年年中形成初步产能,支持你们的‘双轨供应’计划,是有现实基础的。” 实际这会儿,常浩南也正心里不断吐槽—— 恐怕真到了明年年中,华芯国际要做的就不是“补充TSMC的产能”,而是代替TSMC,全面给你们菊厂供货了…… 当然,这话也就是想想,不可能真说出口。 俞丞东眼中瞬间爆发出难以抑制的振奋光芒。 张汝宁作为核心子系统负责人的专业背书,加上常浩南的肯定,给了他巨大的信心。 “太好了!”他用力地点点头,仿佛卸下了一副重担,“有常院士和张研究员这句话,我们就彻底放心了!” 第(2/3)页