第(2/3)页 “张研究员,我说的应该没错吧?” “没错。”张汝宁点头,“不过数值差距很小,据我所知即便是EUV光刻系统,也不会因为其中的误差而产生影响。” 常浩南摇了摇手里的翻页笔: “问题在于,没有等价的物理意义,就根本无法对复杂偏振系统进行分析。” 这一个月里,张汝宁几乎养成了在常浩南说完话之后下意识点头的习惯。 但随即关注到了重点: “复杂偏振系统,是指……” “这个稍后详谈。”常浩南抬手示意随即指向屏幕上的另一个方向。 那里有一组全新的、结构更为精妙的数学表达式: “我找到了一个新的分解途径。” 会议室里的空气仿佛凝滞了,所有人的目光都聚焦在那组陌生的公式上。 “根据极分解理论”常浩南的声音清晰而沉稳,“任何一个 n阶的复矩阵,都可以被唯一地分解为一个厄尔米特矩阵和一个酉矩阵的乘积——前提是这个复矩阵是非奇异的。” 在偏振系统中非奇异矩阵意味着不能包含理想偏振器。 实际上也根本不存在这种东西。 所以条件并不难达成。 他停顿了一下,确保众人跟上思路:“幸运的是,对于描述光学系统偏振特性的琼斯矩阵,只要系统本身没有导致信息完全丢失的奇异点,它就满足这个非奇异条件。因此,这种分解是可行的,并且是唯一的……” “……” 激光笔的光点在公式的关键部分不断跳跃。 最终指向了位于屏幕左下角的结论: “分解的结果,可以清晰地指向五个具有明确物理意义的独立参数!” 常浩南的语气中带着十分的笃定。 “第一项,透射系数:描述光通过系统后的整体强度衰减或增益。” “第二项,波前相位:即传统的波前像差,影响成像位置和清晰度。” “第三项,振幅极化:描述光波电场矢量在特定方向上的强度分布变化……” “……” 尽管他已经刻意放慢了速度,但大部分人还是只在一开始能够跟上进度。 第(2/3)页