第(3/3)页

    虽然比长波长时略粗了一些，但整体形态保持良好没有灾难性的崩溃。

    “提取泽尔尼克系数，重点分析离焦项Z4！”

    张汝宁语速加快。

    泽尔尼克系数是量化光学系统像差的标准数学工具。

    其中Z4项，就代表了离焦，这正是由色散差导致的核心像差之一。

    何修军熟练地操作软件，对当前的干涉图样进行高速采集和分析。

    十几秒钟后，结果跳出！

    “Z4值是……-0.042λ。”

    何修军的声音由于兴奋而显得尖锐：

    “对比我们之前最成功的消色散方案，这套三透镜系统在同等焦距下的实测Z4值减少了差不多三分之一……”

    减少三分之一，这很重要。

    但还不是最重要的。

    “而且，”张汝宁补充道，“这套系统的体积，只有传统消色散组件的不到五分之一！”

    更紧凑的体积和更简单的结构，相当于给物镜组的其它部分留出了更高的自由度。

    显然，他们成功了。

    这不仅仅是数据的胜利。

    还是为突破ASML在光刻技术上的封锁，打开了一扇充满希望的窗……

    不对。

    何止是开窗。

    这是把房顶都给掀了……

    就在众人沉浸在初步成功的喜悦中时，气密门再次滑开。

    一名测试人员探进头来：“栗教授，有电话找，常院士的。”

    正在跟另外几人讨论结果的栗亚波一愣，接着匆匆离开。

    但仅仅几分钟后，又去而复返。

    “各位！”栗亚波打断了讨论和庆祝。“常院士让我立刻通知大家，尽快去顶楼会议室集合！”

    张汝宁脸上的笑容瞬间收敛，严肃起来：

    “栗教授什么事这么急？”

    他看了看旁边的设备，还有电脑屏幕上的数据：“实验方面还有些收尾和重复验证……是需要所有人都过去么？”

    “老师说，他找到了一种全新的理论方法！”

    可能是因为之前一路跑过来的缘故，栗亚波的呼吸有些急促：

    “可以替代现有体系，对偏振像差进行描述和理论解释。”

    此话一出，就连正坐在电脑前分析数据的何修军都停下了手上的动作，转过头来看向栗亚波。

    “替代琼斯矩阵？”

    不止一个人脱口而出。

    在传统光学系统的成像过程中，大多是将光看做标量处理，而忽略其矢量特性。

    但在投影光刻物镜中，当数值孔径NA不断增大时，光的矢量特性对成像效果影响也会逐渐增大。

    尤其对于3G浸没液和镥铝石榴石这样NA值预计会大于1.70的系统，传统标量像差理论已经不足以完全表征光学系统的成像性能。

    必须使用偏振像差理论。

    然而，偏振相差甚至没有一种完善的描述形式，穆勒矩阵和琼斯矩阵各自有无法适用的范围。

    如果能解决这个问题，无疑是补上了超高精度成像领域的一个缺口。

    张汝宁瞬间做出决断：

    “先暂停手头的所有实验操作，锁定设备状态！”

    “小何，注意保存好所有数据。”

    “所有人，跟我上楼！”

    　　


    第(3/3)页