第(3/3)页 “对于反射镜而言光线越接近垂直入射就越有利于图像校准,但完全垂直的入射光又必然导致两个反射镜之间遮拦成像光束,这是一个根本性的矛盾。” 张汝宁在代表光束的线条上画了个叉。 “为了解决这个问题,目前的主流方案,是采用离轴非对称的视场设计。” “简单说,就是让光束不是对称地通过系统中心,而是偏心地、非对称地通过。” “同时,增加反射镜之间的距离,为光束留出通过的空间。” 他在草图上示意了光束的偏转路径和反射镜之间拉开的距离。 “但这又带来了新的问题:非对称视场会导致系统像差,尤其是彗差和像散急剧增大,校正极其困难。” “同时增加镜间距也会导致系统体积增大,失去折反系统‘紧凑’的优势,很难找到一个完美的平衡点。” 张汝宁放下笔,语气带着一丝无奈: “这也是折反式物镜设计的核心瓶颈之一。” 他看向常浩南,想听听对方有何高见。 和半个小时的心态已经截然不同。 常浩南没有立刻回答,而是拿起那张草图,仔细端详了片刻。 “刚才你们看到的Ga-Ge(0001)材料,除了具有负折射率的特性之外,还有另一个非常重要的性质。” 他手指轻轻点在那片代表负折射材料的“透镜”位置上: “它是一种高度各向异性的材料……主要体现在它对不同偏振方向、不同入射角度光线的透明度上。” 说到这里,常浩南也觉得有点戏剧性。 当初之所以把这东西弄成各向异性的,纯粹是无奈之举。 因为各向同性的负折射率材料实在做不到透明。 结果,反而派上了用场。 “也就是说通过控制其晶向和表面处理……” 他还在组织语言的时候,张汝宁已经想到了后面的内容: “有可能让同一块镜片对某些范围入射的光线进行折射,而对另外一个范围入射的光线进行反射?” 跟聪明的内行说话就是省事。 常浩南直接点头:“就是这样。” 张汝宁的声音已经有些颤抖:“所以……我们可以设计一种……混合元件?” “它既能在某些区域充当负折射透镜,又能在其他区域充当反射镜?甚至诱导全内反射来改变光路方向?” “而且这一切,是可以通过材料的本征特性和设计来实现的?” 其实他基本确定自己的思路没错。 但这一切实在过于美好,以至于根本就不像是真的。 如果真能实现,就不仅仅是简化设计,而是完全跳出传统折反和折射系统的框架,几乎重构了物镜组的实现方式! “我现在脑子有点乱……”张汝宁揉了揉额角,“但从我的经验判断,如果引入这种材料,那么折反系统的设计难度……大概能降低到和全折射系统类似的水平。” 他深吸一口气,压下心中的激动,看向常浩南的目光充满了前所未有的郑重和敬佩。 “常院士,我收回之前所有的疑虑。” “您带来的,不仅仅是新材料,更是一种颠覆性的光学设计哲学!” “我请求立刻启动三方联合攻关!” “ArF-1800的设计方案,必须,也必然要基于此,进行彻底的、革命性的重构!” “……” 这下子,连吴明翰也忍不住要插上一嘴: “如果是要把折射系统和折反系统融合,那么我们华芯国际……应该也能提供一定帮助。” 第(3/3)页