第(2/3)页 张汝宁的语气带着淡淡的自豪,同时还有几分庄重。 坐在常浩南另一边的吴明翰适时开口道: “虽然目前还处于方案论证阶段,尚未最终确定采用哪种设计路线,但毫不夸张地说老张的方案,就代表了国内光刻物镜设计的最顶尖水平。” 张汝宁闻言笑了笑。 但这一次却并未出言自谦。 而是半开玩笑半认真地说道: “常院士,如果不是火炬实验室的名头,加上您亲自开口,那这些东西,是绝对不可能带出长光大门的。” 在这种场合下,需要对自己的成果表现出一些自信。 再者,过分的谦虚,也是对其它项目参与者的不尊重。 紧接着,他的语气又恢复严肃:“另外,虽然是带出来了,但根据规定,不能复制,不能拍照,演示交流结束后,我必须原样带回。” 大家都是体制内的技术人员,自然知道规矩。 常浩南也看得出对方的重视程度已经拉满,也赶紧配合地接了一句: “我代表火炬实验室,对张研究员,以及长光集团的诚意表示感谢!” “好!”张汝宁点点头,神情放松下来。 然后示意助手将其中一块硬盘连接到会议室的专用电脑上: “那我们就开始?您这边的新理念,或许可以和我们这几个方案交流碰撞一下。” ArF-1800项目是长光的心血,对标的是ASML的NXT:2000i系列,属于当前DUV体系下的最顶级产品。 他也很想看看,对方能拿出什么新的理念来交流。 然而,常浩南却轻轻摆了摆手,示意那位助手先别动: “张研究员,先不急着看资料。” 这个态度,让另外二人有些愕然。 “火炬实验室的新理念,是完全……颠覆性的。”常浩南解释道,“现有设计方案本身的参考价值恐怕有限,关键在于思路,包括折反式系统的设计方法,还有一些关键过程和数据。” 张汝宁脸上的笑容微微一滞,眼底掠过一丝难以察觉的讶异和……不服气。 参考价值有限? 他带来的可是对标国际顶级DUV光刻机的核心光学设计方案! 这位常院士的口气,未免太大了些。 不过,他倒也不至于表露出来,只是点了点头:“那我们就客随主便听常院士您安排就是。” 常浩南也看出了对方的小情绪,但只是起身,做了个请的手势: “二位跟我来。” 张汝宁和吴明翰对视一眼,都看到了对方眼中的疑惑。 对方强调两个人,那意思当然是不能带随行人员。 好在这是国内,倒不用担心什么摔杯为号冲出五百刀斧手之类的剧情。 于是两人将随行人员留在会议室,只身跟随常浩南,深入到了火炬实验室的地下测试中心。 刚一踏进测试大厅,张汝宁的目光就被吸引住了。 “这是……蔡司最新的那台三坐标测量仪?精度能达到亚微米级了!” 他几乎不由自主地走向一台造型精密、闪烁着金属光泽的大型设备,如同看到稀世珍宝。 如果不是有一层窗户挡着,怕是要上手摸一摸。 “还有这台,同步辐射光源的小角散射装置……” “Talysurf PRO+表面轮廓仪……” “……” 第(2/3)页